NiCr 80:20 por cento em peso alvos de pulverização catódica

Introdução

Na indústria de revestimentos, alvos de pulverização catódica de níquel-cromo, alvos e filmes de liga binária são amplamente utilizados em filmes de reforço de superfície, como resistência ao desgaste, redução do desgaste, resistência ao calor e resistência à corrosão, bem como vidro de baixa emissividade (low-E), microeletrônica, magnético Em indústrias de tecnologia de ponta, como gravação, semicondutores e resistência de filme fino, o processo de tratamento térmico afeta significativamente a estrutura de fase e a microestrutura da liga.

A composição microestrutura e microdomínio de ligas Ni-Cr são sensíveis ao processo de tratamento térmico. Na faixa de 1000-1200 graus Celsius, o conteúdo atômico de Ni na fase BCC muda de 5% para 30%. Um processo de tratamento térmico de homogeneização adequado é proposto para obter alvos de liga de Ni-Cr de alta qualidade com estrutura e composição relativamente uniformes. Quando o conteúdo atômico do elemento Ni é de 20 por cento -70 por cento, o tratamento térmico de homogeneização é adequado entre 1200-1300 graus Celsius, e o tempo de recozimento da homogeneização varia com a seleção da temperatura de recozimento e varia no intervalo de 2-24H. Com base na teoria da colisão em cascata aleatória e no método de Monte Carlo, os resultados da simulação da interação entre os íons incidentes e o sólido alvo da liga de Ni-Cr no sputtering do feixe de íons mostram que as energias de superfície atômica do Ni e do Cr são relativamente próximas. , A composição do produto de pulverização catódica do alvo da liga Ni-Cr não se desvia significativamente da composição do alvo, o que é benéfico para a seleção da composição do alvo e o controle da composição do filme.

O tempo de recozimento de homogeneização varia com a temperatura de recozimento e varia dentro do intervalo de 2-24h. Geralmente, sob a premissa de garantir a uniformidade da estrutura e composição, quanto maior a temperatura do tratamento térmico, menor o tempo de tratamento térmico necessário; por outro lado, a fim de garantir a uniformidade da estrutura e composição Para evitar o crescimento excessivo do grão, a temperatura de envelhecimento no estágio final do tratamento térmico real não deve ser selecionada muito alta. O filme de nicromo tem alta resistividade e baixo coeficiente de resistência à temperatura. Possui as características de alto coeficiente de sensibilidade e pequena dependência de temperatura, por isso é frequentemente usado na preparação de medidores de tensão de resistência de filme fino.

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